1月21日消息，ASML客戶(hù)交付了第一臺(tái) YieldStar 385 系統(tǒng)，可以滿(mǎn)足3納米制程的要求。與以前的系統(tǒng)相比，主要的增強(qiáng)功能包括更快的工作臺(tái)和更快的波長(zhǎng)切換，這可以實(shí)現(xiàn)高精度的套準(zhǔn)測(cè)量和使用多個(gè)波長(zhǎng)的設(shè)備匹配。
ASML 交付第一臺(tái) YieldStar 385 系統(tǒng)，可滿(mǎn)足 3 納米制程要求
2021-01-21 eNet&Ciweek/欣遇
1月21日消息，ASML客戶(hù)交付了第一臺(tái) YieldStar 385 系統(tǒng)，可以滿(mǎn)足3納米制程的要求。與以前的系統(tǒng)相比，主要的增強(qiáng)功能包括更快的工作臺(tái)和更快的波長(zhǎng)切換，這可以實(shí)現(xiàn)高精度的套準(zhǔn)測(cè)量和使用多個(gè)波長(zhǎng)的設(shè)備匹配。
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